產(chǎn)品規(guī)格 彩色共焦雷射位移計(jì) CL-3000 系列

光學(xué)模組?感測(cè)頭 - Quad 型

型號(hào)

CL-L007N

CL-L015N

CL-L030N

CL-L070N

CL-L150N

影像

類型

光學(xué)模組

感測(cè)頭

CL-L007 *1

CL-L015 *1

CL-L030 *1

CL-L070 *1

CL-L150 *1

參考距離

7 mm

15 mm

30 mm

70 mm

150 mm

標(biāo)準(zhǔn)量測(cè)範(fàn)圍

量測(cè)範(fàn)圍

±1.5 mm

±1.3 mm

±3.7 mm

±10 mm

±35 mm

線性度

±2.1 μm *2

±0.49 μm *2

±0.94 μm *2

±2.2 μm *2

±5.65 μm *2

高精度量測(cè)範(fàn)圍

量測(cè)範(fàn)圍

±0.5 mm

±1.0 mm

±3.0 mm

±15 mm

線性度

±0.91 μm *2

±0.41 μm *2

±0.72 μm *2

±2.0 μm *2

±4.65 μm *2

解析度

0.25 μm *3

光點(diǎn)直徑

?750 μm

?300 μm

?500 μm

?600 μm

?1000 μm

雷射分類

光學(xué)模組

Class I

取樣周期

100/200/500/1000 μs(4 段階可變)

環(huán)境抗耐性

外殼防護(hù)等級(jí)

感測(cè)頭

IP67(IEC60529)

環(huán)境光照

物體面照度 30000 lux(白熾燈)

環(huán)境溫度

0 至+50°C

相對(duì)濕度

85%RH 以下(無(wú)凝結(jié))

耐振動(dòng)性

感測(cè)頭

10 至57 Hz 雙倍振幅 1.5 mm X、Y、Z 方向各 2 小時(shí)

光學(xué)模組

10 至57 Hz 雙倍振幅 0.3 mm X、Y、Z 方向各 2 小時(shí)

耐衝擊性

15 G 6 ms

溫度特性

感測(cè)頭

0.005% of F.S. /°C

光學(xué)模組

0.015% of F.S. /°C

材質(zhì)

感測(cè)頭

SUS

前方:SUS 後方:鋁

光學(xué)模組

聚碳酸酯

重量

感測(cè)頭

約140 g

約180 g

約200 g

約280 g

約380 g

光學(xué)模組

約1600 g

*1 感測(cè)頭與光學(xué)模組會(huì)搭配調(diào)整。無(wú)相容性。
*2 使用本公司基準(zhǔn)目標(biāo)物(鏡面物體)以位移模式量測(cè)的數(shù)值。
*3 使用本公司基準(zhǔn)目標(biāo)物(鏡面物體)以平均次數(shù) 16384 次量測(cè)的數(shù)值。

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光學(xué)模組?感測(cè)頭 - 小光點(diǎn)型

型號(hào)

CL-P007N

CL-P015N

CL-P030N

CL-P070N

CL-P150N

影像

類型

光學(xué)模組

感測(cè)頭

CL-P007 *1

CL-P015 *1

CL-P030 *1

CL-P070 *1

CL-P150 *1

參考距離

7 mm

15 mm

30 mm

70 mm

150 mm

標(biāo)準(zhǔn)量測(cè)範(fàn)圍

量測(cè)範(fàn)圍

±1.5 mm

±1.3 mm

±3.7 mm

±10 mm

±35 mm

線性度

±0.96 μm *2

±0.49 μm *2

±0.94 μm *2

±2.2 μm *2

±5.65 μm *2

高精度量測(cè)範(fàn)圍

量測(cè)範(fàn)圍

±0.5 mm

±1.0 mm

±3.0 mm

±15 mm

線性度

±0.55 μm *2

±0.41 μm *2

±0.72 μm *2

±2.0 μm *2

±4.65 μm *2

解析度

0.25 μm

光點(diǎn)直徑

?50 μm

?25 μm

?38 μm

?50 μm

?75 μm

雷射分類

光學(xué)模組

Class I

取樣周期

100/200/500/1000 μs(4 段階可變)

環(huán)境抗耐性

外殼防護(hù)等級(jí)

感測(cè)頭

IP67(IEC60529)

環(huán)境光照

物體面照度 30000 lux(白熾燈)

環(huán)境溫度

0 至+50°C

相對(duì)濕度

85%RH 以下(無(wú)凝結(jié))

耐振動(dòng)性

感測(cè)頭

10 至57 Hz 雙倍振幅 1.5 mm X、Y、Z 方向各 2 小時(shí)

光學(xué)模組

10 至57 Hz 雙倍振幅 0.3 mm X、Y、Z 方向各 2 小時(shí)

耐衝擊性

15 G 6 ms

溫度特性

感測(cè)頭

0.005% of F.S. /°C

光學(xué)模組

0.015% of F.S. /°C

材質(zhì)

感測(cè)頭

SUS

前方:SUS 後方:鋁

光學(xué)模組

聚碳酸酯

重量

感測(cè)頭

約140 g

約180 g

約200 g

約280 g

約380 g

光學(xué)模組

約1600 g

*1 感測(cè)頭與光學(xué)模組會(huì)搭配調(diào)整。無(wú)相容性。
*2 使用本公司基準(zhǔn)目標(biāo)物(鏡面物體)以位移模式量測(cè)的數(shù)值。

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型號(hào)

CL-S015N

CL-V020N

CL-V050N

CL-PT010N

影像

類型

光學(xué)模組

感測(cè)頭

CL-S015 *1

CL-V020 *1

CL-V050 *1

CL-PT010 *1

參考距離

15 mm

20 mm

50 mm

10 mm

標(biāo)準(zhǔn)量測(cè)範(fàn)圍

量測(cè)範(fàn)圍

±1.0 mm

±1.3 mm

±4 mm

±0.3 mm

線性度

±0.35 μm *2

±0.45 μm *2

±1.4 μm *2

±0.22 μm *2

高精度量測(cè)範(fàn)圍

量測(cè)範(fàn)圍

-0.2 mm/-1.0 mm

±0.5 mm

±1.6 mm

±0.15 mm

線性度

±0.25 μm *2

±0.38 μm *2

±1.3 μm *2

±0.2 μm *2

解析度

0.25 μm *3

光點(diǎn)直徑

?10 μm

?20 μm

?40 μm

?3.5 μm

雷射分類

光學(xué)模組

Class I

取樣周期

100/200/500/1000 μs(4 段階可變)

環(huán)境抗耐性

外殼防護(hù)等級(jí)

感測(cè)頭

IP50

IP40 真空用除氣結(jié)構(gòu) *5

IP64(IEC60529)

環(huán)境光照

物體面照度 30000 lux(白熾燈)

工作環(huán)境溫度

感測(cè)頭

-20 至+70°C

-20 至+200°C

0 至+50°C

光學(xué)模組

0 至+50°C

相對(duì)濕度

85%RH 以下(無(wú)凝結(jié))

耐振動(dòng)性

感測(cè)頭

10 至57 Hz 雙倍振幅1.5 mm X、Y、Z 方向各2 個(gè)小時(shí)

10 至57 Hz 雙倍振幅0.45 mm X、Y、Z 方向各2 個(gè)小時(shí)

光學(xué)模組

10 至57 Hz 雙倍振幅0.3 mm X、Y、Z 方向各2 個(gè)小時(shí)

耐衝擊性

15 G 6 ms

真空

支援真空

支援超高真空 *6

無(wú)

溫度特性

感測(cè)頭

0.005% of F.S. /°C *4

0.013% of F.S. /°C *4

0.015% of F.S. /°C *4

0.1% of F.S. /°C *4

光學(xué)模組

0.015% of F.S. /°C

材質(zhì)

感測(cè)頭

SUS303/304

SUS304

前方:SUS 後方:鋁

光學(xué)模組

聚碳酸酯

重量

感測(cè)頭

約350 g

約100 g

約1100 g

光學(xué)模組

約1600 g

*1 感測(cè)頭與光學(xué)模組會(huì)搭配調(diào)整。無(wú)相容性。
*2 使用本公司基準(zhǔn)目標(biāo)物(鏡面物體)以位移模式量測(cè)的數(shù)值。
*3 使用本公司基準(zhǔn)目標(biāo)物(鏡面物體)以平均次數(shù) 16384 次量測(cè)的數(shù)值。
*4 這是用SUS303(或SUS304)製成的夾具固定感測(cè)頭和待測(cè)物取得數(shù)值。
*5 貼上附帶密封帶後,相當(dāng)於IP50。
*6 已在10^-6Pa 環(huán)境下進(jìn)行動(dòng)作驗(yàn)證。

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