產(chǎn)品規(guī)格 光譜干涉晶圓測厚儀 SI-F80R 系列

型號

SI-F80R*1

影像

類型

晶圓厚度量測型 感測頭

量測範(fàn)圍

10 到 310 μm (n=3.5 時)*2

可實現(xiàn)的檢測距離

80 到 81.1 mm

光源

紅外 SLD 輸出 0.6 mW, 第1 類雷射產(chǎn)品（IEC60825-1,FDA（CDRH）Part 1040.10 *3）

光束直徑

?25 μm*4

線性度

±0.1 μm*5

解析度

0.25 μm*6

取樣周期

200 μs

LED 指示器

目標(biāo)靠近量測中心 : 綠光。目標(biāo)在量測範(fàn)圍內(nèi) : 橙光。目標(biāo)在量測範(fàn)圍外 : 橙光閃爍。

溫度波動

―

環(huán)境抗耐性

外殼防護(hù)等級

IP64

環(huán)境光照

白熾燈/螢光燈：最大 10,000 lux

環(huán)境溫度

0 至 +50 °C

相對濕度

35 至 85 % RH (無凝結(jié))

耐振動性

10 至 55 Hz、雙倍振幅 1.5 mm、X,Y,Z 方向各 2 小時

材質(zhì)

SUS

重量

約 70 g(含連接線)

*1 感測頭和光譜模組成對校準(zhǔn)。兩者不可互換。
*2 表示折射率為 3.5 時的厚度量測範(fàn)圍。 (折射率為 1 時厚度量測範(fàn)圍為 35 到 1100 μm)
*3 FDA (CDRH) 的雷射分類是基於 IEC60825-1 並根據(jù) Laser Notice 的要求而實施的。
*4 表示量測範(fàn)圍內(nèi)的最小光束直徑。
*5 量測兩塊玻璃板間隙並將平均量測次數(shù)設(shè)為 256 (轉(zhuǎn)換為折射率就是 3.5) 時獲得的值。
*6 在檢測距離內(nèi)量測厚度為 0.3 mm 的玻璃對象並將平均量測次數(shù)設(shè)為 4096 時獲得的值。

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